SHRINKAGE AND ANNIHILATION OF STACKING-FAULTS IN SILICON

被引:27
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作者
SUGITA, Y [1 ]
SHIMIZU, H [1 ]
YOSHINAKA, A [1 ]
AOSHIMA, T [1 ]
机构
[1] HITACHI LTD,DIV SEMICONDUCTOR & INTEGRATED CIRCUITS,KODAIRO,TOKYO 187,JAPAN
来源
关键词
D O I
10.1116/1.569260
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:44 / 46
页数:3
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