SILICON EPITAXIAL-GROWTH BY RAPID THERMAL-PROCESSING CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引:25
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作者
LEE, SK
KU, YH
KWONG, DL
机构
关键词
D O I
10.1063/1.101288
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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页码:1775 / 1777
页数:3
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