共 50 条
MICROINHOMOGENEITIES IN GLOW-DISCHARGE DEPOSITED A-SI-H LAYERS
被引:8
|作者:
ZENTAI, G
FUSTOSSWEGNER, M
机构:
[1] Central Research Inst for Physics, Budapest, Hung, Central Research Inst for Physics, Budapest, Hung
关键词:
D O I:
10.1016/0022-3093(85)90644-1
中图分类号:
TQ174 [陶瓷工业];
TB3 [工程材料学];
学科分类号:
0805 ;
080502 ;
摘要:
14
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页数:4
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