MICROINHOMOGENEITIES IN GLOW-DISCHARGE DEPOSITED A-SI-H LAYERS

被引:8
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作者
ZENTAI, G
FUSTOSSWEGNER, M
机构
[1] Central Research Inst for Physics, Budapest, Hung, Central Research Inst for Physics, Budapest, Hung
关键词
D O I
10.1016/0022-3093(85)90644-1
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
14
引用
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页数:4
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