SOLID-PHASE EPITAXIAL GROWTH OF POLYCRYSTALLINE SILICON FILMS AMORPHIZED BY ION IMPLANTATION.

被引：0
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作者：
Quach, N.T. [1 ]
Reif, R. [1 ]
机构：
[1] MIT, Dep of Electrical Engineering, & Computer Science, Cambridge,, MA, USA, MIT, Dep of Electrical Engineering & Computer Science, Cambridge, MA, USA
来源：
| 1600年 / 02期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
SEMICONDUCTING SILICON
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