ELECTROMIGRATION LIFETIME STUDIES OF SUBMICROMETER-LINEWIDTH Al-Cu CONDUCTORS.

被引:0
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作者
Iyer, Subramanian S. [1 ]
Ting, Chung-Yu [1 ]
机构
[1] IBM, Thomas J. Watson Research Cent,, Yorktown Heights, NY, USA, IBM, Thomas J. Watson Research Cent, Yorktown Heights, NY, USA
关键词
D O I
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