PLASMA CHEMISTRY OF FLUOROCARBONS AS RELATED TO PLASMA-ETCHING AND PLASMA POLYMERIZATION

被引：0
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作者：
KAY, E
COBURN, J
DILKS, A
机构：
来源：
TOPICS IN CURRENT CHEMISTRY | 1980年 / 94卷
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O6 [化学];
学科分类号：
0703 ;
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