GROWTH AND PROPERTIES OF CDS EPITAXIAL LAYERS BY CLOSE-SPACED TECHNIQUE

被引:50
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作者
YOSHIKAWA, A [1 ]
SAKAI, Y [1 ]
机构
[1] TOKYO INST TECHNOL, DEPT ELECTR, MEGURO, TOKYO, JAPAN
关键词
D O I
10.1063/1.1663813
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:3521 / 3529
页数:9
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