ELECTRICAL-PROPERTIES OF LINE DEFECTS IN THIN ZONE-RECRYSTALLIZED SILICON FILMS ON SILICON DIOXIDE

被引:11
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作者
MABY, EW
ANTONIADIS, DA
机构
关键词
D O I
10.1063/1.93237
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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