ELECTRICAL-PROPERTIES OF EVAPORATED SILICON FILMS

被引:2
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作者
SANGRADOR, J
ESQUIVIAS, I
RODRIGUEZ, T
SANZMAUDES, J
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(85)90398-0
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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