GROWTH-KINETICS OF EPITAXIAL LAYERS OF SILICON-CARBIDE OBTAINED BY SUBLIMATION IN VACUUM

被引:0
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作者
TAIROV, YM
TARANETS, VA
TSVETKOV, VF
机构
关键词
D O I
暂无
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
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页数:4
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