EPITAXIAL SILICON LAYERS OBTAINED BY SUBLIMATION IN VACUO

被引:0
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作者
POSTNIKO.VV
OVSYANNI.MI
LOGINOVA, RG
RUBTSOVA, RA
SERGIEVS.TN
TOLOMASO.VA
机构
来源
DOKLADY AKADEMII NAUK SSSR | 1967年 / 175卷 / 04期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];
学科分类号
07 ; 0710 ; 09 ;
摘要
引用
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页码:817 / &
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