MORPHOLOGY AND PROPERTIES OF SILICON-CARBIDE EPITAXIAL LAYERS GROWN FROM THE VAPOR-PHASE

被引:0
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作者
PROKOFEVA, NK
MAKAROVA, IA
BELOVA, SA
KOSAGANOVA, MG
DEMYANCHIK, DV
机构
关键词
D O I
暂无
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
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页码:1625 / 1629
页数:5
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