ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF BE-IMPLANTED GAAS ACTIVATED BY RAPID THERMAL ANNEALING.

被引:0
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作者
Maezawa, Koichi [1 ]
Oe, Kunishige [1 ]
机构
[1] NTT, Atsugi, Jpn, NTT, Atsugi, Jpn
来源
Electron device letters | 1986年 / EDL-7卷 / 01期
关键词
D O I
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学科分类号
摘要
SEMICONDUCTING GALLIUM ARSENIDE
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