RAPID THERMAL ANNEALING OF SI IMPLANTED GAAS

被引:6
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作者
PAULSON, WM
LEGGE, RN
WEITZEL, CE
机构
关键词
D O I
10.1007/BF02655485
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页数:7
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