ZINC-OXIDE FILM SYNTHESIZED BY ECR OXYGEN PLASMA

被引:6
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作者
KOKAI, H
KASHIWAGI, K
SAKAMOTO, Y
MORIKAWA, T
MURAYAMA, Y
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.28.2268
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2268 / 2271
页数:4
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