FUNDAMENTAL-ASPECTS OF THE ELECTRONIC-STRUCTURE, MATERIALS PROPERTIES AND LUBRICATION PERFORMANCE OF SPUTTERED MOS2 FILMS

被引：173
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作者：
FLEISCHAUER, PD
机构：
来源：
THIN SOLID FILMS | 1987年 / 154卷 / 1-2期
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(87)90375-0
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：309 / 322
页数：14
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