NOISE POWER SPECTRA OF THE INDUCTIVELY COUPLED PLASMA

被引:51
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作者
WALDEN, GL [1 ]
BOWER, JN [1 ]
NIKDEL, S [1 ]
BOLTON, DL [1 ]
WINEFORDNER, JD [1 ]
机构
[1] UNIV FLORIDA,DEPT CHEM,GAINESVILLE,FL 32611
关键词
D O I
10.1016/0584-8547(80)80029-2
中图分类号
O433 [光谱学];
学科分类号
0703 ; 070302 ;
摘要
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页码:535 / 546
页数:12
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