A NEW HEAT-TREATMENT TECHNIQUE FOR NO THERMAL-CONVERSION OF SEMI-INSULATING GAAS WAFERS

被引:0
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作者
TANAKA, T
TAKAMIYA, S
ISHII, M
SUSAKI, W
机构
关键词
D O I
10.7567/JJAPS.19S1.473
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:473 / 477
页数:5
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