CHARACTERIZATION OF ALXGA1-XAS-GAAS LAYER STRUCTURES BY SCANNING AUGER-ELECTRON MICROSCOPY

被引:10
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作者
VANOOSTROM, A
AUGUSTUS, L
NIJMAN, W
LESWIN, W
机构
来源
关键词
D O I
10.1116/1.570468
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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