PROTON MAGNETIC-RESONANCE SPECTRA OF PLASMA-DEPOSITED INORGANIC THIN-FILMS

被引：30
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作者：
REIMER, JA
VAUGHAN, RW
KNIGHTS, JC
LUJAN, RA
机构：
[1] CALTECH,DIV CHEM & CHEM ENGN,PASADENA,CA 91125
[2] XEROX CORP,PALO ALTO RES CTR,PALO ALTO,CA 94304
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 19卷 / 01期
关键词：
D O I：
10.1116/1.571016
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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