SELECTION OF METHOD FOR ESTIMATING THE INHOMOGENEITY OF LARGE-DIAMETER INDUSTRIAL SILICON-CRYSTALS

被引:0
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作者
YUROVA, ES
SHVEDOVA, OI
KANEVSKAYA, VM
TARASOV, VK
机构
来源
INDUSTRIAL LABORATORY | 1990年 / 56卷 / 10期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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页数:3
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