GENERATION OF COMPLEX-IONS DUE TO THE SPUTTERING OF MULTICOMPONENT OXIDES

被引：0
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作者：
PANICHKIN, IY
CHENAKIN, SP
机构：
来源：
ZHURNAL EKSPERIMENTALNOI I TEORETICHESKOI FIZIKI | 1995年 / 108卷 / 02期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O4 [物理学];
学科分类号：
0702 ;
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页码：676 / 685
页数：10
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