INFLUENCE OF AN RF PLASMA ON THE OPTICAL AND STRUCTURAL-PROPERTIES OF VACUUM-DEPOSITED DIELECTRIC COATINGS

被引:1
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作者
HERRMANN, R
LOTZ, HG
MULLER, J
MUNZ, WD
VOGT, H
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(85)90204-4
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:351 / 364
页数:14
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