KINETIC-EQUATION OF MULTISTAGE PROCESS OF THERMAL-OXIDATION OF SEMICONDUCTORS AND METALS

被引：0
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作者：
UGAI, JA
ANOKHIN, VZ
KHOVIV, AM
MITTOVA, IJ
机构：
来源：
DOKLADY AKADEMII NAUK SSSR | 1982年 / 266卷 / 05期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];
学科分类号：
07 ; 0710 ; 09 ;
摘要：
引用
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页码：1188 / 1190
页数：3
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