ROLL-TO-ROLL PLASMA DEPOSITION MACHINE FOR THE PRODUCTION OF TANDEM AMORPHOUS-SILICON ALLOY SOLAR-CELLS

被引:8
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作者
IZU, M
OVSHINSKY, SR
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(84)90156-1
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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