EFFECTS OF CRYSTALLINE DEFECTS ON ELECTRICAL-PROPERTIES IN SILICON FILMS ON SAPPHIRE

被引：24
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作者：
ONGA, S
YOSHII, T
HATANAKA, K
YASUDA, Y
机构：
[1] TOKYO SHIBAURA ELECT CO LTD,TOSHIBA RES & DEV CTR,KAWASAKI,JAPAN
[2] GAKUSHUIN UNIV,FAC SCI,TOKYO,JAPAN
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1976年 / 15卷
关键词：
D O I：
10.7567/JJAPS.15S1.225
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：225 / 231
页数：7
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