OXIDATION OF SILICON-NITRIDE IN A WET ATMOSPHERE

被引:22
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作者
MAEDA, M
NAKAMURA, K
OHKUBO, T
机构
关键词
D O I
10.1007/BF02385430
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
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页码:2120 / 2126
页数:7
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