POINT-DEFECTS IN SILICON STUDIED BY NICKEL DIFFUSION

被引:21
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作者
KITAGAWA, H [1 ]
HASHIMOTO, K [1 ]
YOSHIDA, M [1 ]
机构
[1] KYUSHU INST DESIGN,MINAMI KU,FUKUOKA 815,JAPAN
来源
PHYSICA B & C | 1983年 / 116卷 / 1-3期
关键词
D O I
10.1016/0378-4363(83)90268-1
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
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页码:323 / 327
页数:5
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