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DRAWN PITCH THREADS AS MASKS FOR MICROFABRICATION
被引：1
|作者：
SHEEM, S
[1
]
机构：
[1] UNIV CALIF,DEPT ELECT ENGN & COMP SCI,ELECTR RES LAB,BERKELEY,CA 94720
来源：
关键词：
D O I：
10.1364/AO.13.001757
中图分类号：
O43 [光学];
学科分类号：
070207 ;
0803 ;
摘要：
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页码：1757 / 1759
页数：3
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