COMPUTER-SIMULATIONS OF SPUTTERING

被引:286
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作者
BIERSACK, JP
机构
关键词
D O I
10.1016/0168-583X(87)90005-X
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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