RAMAN-SCATTERING STUDIES IN GLOW-DISCHARGE DEPOSITED A-SI-H FILMS - EFFECT OF ARGON DILUTION

被引:0
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作者
KSHIRSAGAR, ST
KHALADKAR, NR
MAMDAPURKAR, JB
SINHA, APB
机构
关键词
D O I
10.1016/0254-0584(87)90063-0
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:433 / 442
页数:10
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