The future of microelectronics and photonics and the role of mechanics and materials

被引:14
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作者
Suhir, E
机构
关键词
D O I
10.1115/1.2792280
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
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