The last silicon transistor: Nanosheet devices could be the final evolutionary step for Moore's Law

被引:1
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作者
Ye, Peide
Ernst, Thomas
Khare, Mukesh, V
机构
关键词
D O I
10.1109/mspec.2019.8784120
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
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