Interaction of UHF-plasma with electron-cyclotron resonance on electrophysical properties of diamond-like carbon films

被引：0
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作者：
Bylinkina, NN
Mushtakova, SP
Oleinik, VA
Skripal, AV
Usanov, DA
Ushakov, NM
Yafarov, RK
机构：
来源：
PISMA V ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI | 1996年 / 22卷 / 06期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O59 [应用物理学];
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