Effect of Fowler-Nordheim stress on charge trapping properties of ultrathin N2O-oxynitrided SiO2 films

被引:0
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作者
Fukuda, Hisashi [1 ]
Nomura, Shigeru [1 ]
机构
[1] Muroran Inst of Technology, Hokkaido, Japan
关键词
D O I
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