Beschichtung von dreidimensionalen Substraten mit einem magnetfeldunterstuetzten Mikrowellen-plasma bei Raumtemperatur

被引：0

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作者：

Weichart, Juergen

Meyer, Bern

Mueller, Joerg

机构：

来源：

Vakuum in der Praxis | 1991年 / 3卷 / 01期

关键词：

D O I：

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