Process- and thin-film analysis in YIG thin film production for magnonic applications

被引：0

作者：

Pfuch, A. ^{[1
]}

Reimann, T. ^{[1
]}

Faldu, V. ^{[1
]}

Seemann, T. ^{[1
]}

Friedrich, T. ^{[2
]}

Surzhenko, O. ^{[1
]}

Beier, O. ^{[1
]}

Gopakumar, A. ^{[1
]}

机构：

[1] Innovent e. V., Jena, Germany

[2] Innovent e. V., Ernst-Abbe-Hochschule Jena, Jena, Germany

来源：

Galvanotechnik | 2024年 / 115卷 / 07期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Im Rahmen der hier durchgeführten Untersuchungen wurden Ergebnisse zur Abscheidung von YIG-Dünn- schichten vorgestellt, die mittels dc-Kathodenzerstäubung hergestellt wurden. Eine Kontrolle des dc-Sputterprozes- ses über ein genaues Monitoring der Entladungsspannun- gen sowie über eine exakte Bestimmung des Y/Fe-Elementverhältnisses in den Schichten sowie der ent- sprechenden optischen Schichteigenschaften erlaubt die Herstellung von zunächst amorphen Yttrium-Eisen-Gra- nat-Schichten mit stöchiometrischer Zusammensetzung.

引用

页码：922 / 925

共 50 条

[41] Advancements in thin-film filters for telecommunications applications
Derickson, D
Fortenberry, R
Scobey, M
Sommer, R
Stokes, L
ACTIVE AND PASSIVE OPTICAL COMPONENTS FOR WDM COMMUNICATIONS III, 2003, 5246 : 595 - 607
[42] Emerging Thin-Film Transistor Technologies and Applications
Anthopoulos, Thomas D.
Noh, Yong-Young
Jurchescu, Oana D.
ADVANCED FUNCTIONAL MATERIALS, 2020, 30 (20)
[43] Superconductive thin-film devices for microwave applications
Andreone, D
Brunetti, L
Lacquaniti, V
Maggi, S
Monticone, E
Steni, R
NUOVO CIMENTO DELLA SOCIETA ITALIANA DI FISICA D-CONDENSED MATTER ATOMIC MOLECULAR AND CHEMICAL PHYSICS FLUIDS PLASMAS BIOPHYSICS, 1997, 19 (8-9): : 1375 - 1380
[44] Sensor applications of InGaZnO thin-film transistors
Takechi, Kazushige
Lwamatsu, Shinnosuke
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2019, 58 (09)
[45] THIN-FILM SPUTTER DEPOSITION FOR HYBRID APPLICATIONS
MURALT, P
SEIDEL, JP
VACUUM, 1990, 41 (4-6) : 1400 - 1402
[46] THIN-FILM BREAKDOWN COUNTERS AND THEIR APPLICATIONS (REVIEW)
EISMONT, VP
PROKOFYEV, AV
SMIRNOV, AN
RADIATION MEASUREMENTS, 1995, 25 (1-4) : 151 - 156
[47] EXAMPLES OF THIN-FILM APPLICATIONS IN ELECTRONIC DEVICES
JOHANSEN, I
ARNTZEN, R
BERGMANN, S
HUSA, S
INGEBRIGTSEN, KA
JOHANNESSEN, JS
SANDVED, JS
THIN SOLID FILMS, 1978, 50 (MAY) : 171 - 185
[48] Printing Thin-Film Transistors and Their Applications in Displays
Lan L.
Chen B.
Peng J.
Cao Y.
Cao, Yong (yongcao@scut.edu.cn), 1600, Sichuan University (37): : 150 - 156and199
[49] PROBLEMS OF QUANTITATIVE THIN-FILM ANALYSIS
BONSELS, W
CARL, H
FRESENIUS ZEITSCHRIFT FUR ANALYTISCHE CHEMIE, 1983, 314 (03): : 301 - 303
[50] INSTRUMENTATION - SURFACE AND THIN-FILM ANALYSIS
EVANS, CA
ANALYTICAL CHEMISTRY, 1975, 47 (09) : A855 - &

← 1 2 3 4 5 →