Process- and thin-film analysis in YIG thin film production for magnonic applications

被引：0

作者：

Pfuch, A. ^{[1
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Reimann, T. ^{[1
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Faldu, V. ^{[1
]}

Seemann, T. ^{[1
]}

Friedrich, T. ^{[2
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Surzhenko, O. ^{[1
]}

Beier, O. ^{[1
]}

Gopakumar, A. ^{[1
]}

机构：

[1] Innovent e. V., Jena, Germany

[2] Innovent e. V., Ernst-Abbe-Hochschule Jena, Jena, Germany

来源：

Galvanotechnik | 2024年 / 115卷 / 07期

关键词：

D O I：

暂无

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学科分类号：

摘要：

Im Rahmen der hier durchgeführten Untersuchungen wurden Ergebnisse zur Abscheidung von YIG-Dünn- schichten vorgestellt, die mittels dc-Kathodenzerstäubung hergestellt wurden. Eine Kontrolle des dc-Sputterprozes- ses über ein genaues Monitoring der Entladungsspannun- gen sowie über eine exakte Bestimmung des Y/Fe-Elementverhältnisses in den Schichten sowie der ent- sprechenden optischen Schichteigenschaften erlaubt die Herstellung von zunächst amorphen Yttrium-Eisen-Gra- nat-Schichten mit stöchiometrischer Zusammensetzung.

引用

页码：922 / 925

共 50 条

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