Vibration-insensitive phase-shifting interferometry based on frequency domain analysis

被引:2
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作者
Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, Mianyang [1 ]
621900, China
机构
来源
Guangxue Jingmi Gongcheng | / 1卷 / 252-259期
关键词
D O I
10.3788/OPE.20152301.0252
中图分类号
学科分类号
摘要
21
引用
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