TA-AL-N THIN-FILM RESISTORS WITH IMPROVED ELECTRICAL-PROPERTIES

被引：10
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作者：
REDDY, PK
BHAGAVAT, GK
JAWALEKAR, SR
机构：
来源：
THIN SOLID FILMS | 1980年 / 70卷 / 01期
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(80)90408-3
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：27 / 35
页数：9
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