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FLUORESCENCE AND PHOSPHORESCENCE OF AMORPHOUS LAYERS OF SILICON-NITRIDE
被引:0
|
作者
:
VASILEV, VV
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VASILEV, VV
MIKHAILOVSKII, IP
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MIKHAILOVSKII, IP
SVITASHEV, KK
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SVITASHEV, KK
机构
:
来源
:
ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI
|
1988年
/ 58卷
/ 04期
关键词
:
D O I
:
暂无
中图分类号
:
O59 [应用物理学];
学科分类号
:
摘要
:
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FAST AND SLOW STATES AT THE INTERFACE OF AMORPHOUS-SILICON AND SILICON-NITRIDE
STREET, RA
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STREET, RA
TSAI, CC
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TSAI, CC
APPLIED PHYSICS LETTERS,
1986,
48
(24)
: 1672
-
1674
[32]
METASTABLE EFFECTS IN HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON SILICON-NITRIDE MULTILAYERS
SONG, YH
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机构:
KYUNG HEE UNIV,DEPT PHYS,SEOUL,SOUTH KOREA
SONG, YH
EUN, CC
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机构:
KYUNG HEE UNIV,DEPT PHYS,SEOUL,SOUTH KOREA
EUN, CC
LEE, C
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机构:
KYUNG HEE UNIV,DEPT PHYS,SEOUL,SOUTH KOREA
LEE, C
JANG, J
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机构:
KYUNG HEE UNIV,DEPT PHYS,SEOUL,SOUTH KOREA
JANG, J
PHYSICAL REVIEW B,
1990,
42
(18):
: 11862
-
11868
[33]
SILICON-NITRIDE
AULT, NN
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AULT, NN
YECKLEY, RL
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YECKLEY, RL
AMERICAN CERAMIC SOCIETY BULLETIN,
1993,
72
(06):
: 117
-
118
[34]
SILICON-NITRIDE
AUTL, NN
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AUTL, NN
YECKLEY, RL
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YECKLEY, RL
AMERICAN CERAMIC SOCIETY BULLETIN,
1994,
73
(06):
: 129
-
&
[35]
SILICON-NITRIDE
AULT, NN
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机构:
NORTON CO,WORCESTER,MA 01615
NORTON CO,WORCESTER,MA 01615
AULT, NN
HARTLINE, SD
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NORTON CO,WORCESTER,MA 01615
NORTON CO,WORCESTER,MA 01615
HARTLINE, SD
AMERICAN CERAMIC SOCIETY BULLETIN,
1989,
68
(05):
: 1063
-
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[36]
CHEMICAL-COMPOSITION OF LPCVD SILICON-NITRIDE AND SILICON OXYNITRIDE LAYERS
KUIPER, AET
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KUIPER, AET
HABRAKEN, FHPM
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VANOOSTROM, A
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TAMMINGA, Y
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TAMMINGA, Y
PHILIPS JOURNAL OF RESEARCH,
1983,
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1995,
74
(06):
: 153
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1992,
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ENGINEERING MATERIALS AND DESIGN,
1977,
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[40]
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70
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