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CHANGES IN STRUCTURE AND MAGNETIC-PROPERTIES OF CO-CR FILMS BY OBLIQUE INCIDENT OF SPUTTERED PARTICLES
被引:5
|作者:
HOSHI, Y
[1
]
NAOE, M
[1
]
机构:
[1] TOKYO INST TECHNOL,MEGURO KU,TOKYO 152,JAPAN
关键词:
D O I:
10.1109/20.92319
中图分类号:
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号:
0808 ;
0809 ;
摘要:
引用
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页码:3015 / 3017
页数:3
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