CHANGES IN STRUCTURE AND MAGNETIC-PROPERTIES OF CO-CR FILMS BY OBLIQUE INCIDENT OF SPUTTERED PARTICLES

被引:5
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作者
HOSHI, Y [1 ]
NAOE, M [1 ]
机构
[1] TOKYO INST TECHNOL,MEGURO KU,TOKYO 152,JAPAN
关键词
D O I
10.1109/20.92319
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:3015 / 3017
页数:3
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