ACID-CATALYZED DEPROTECTION AND REARRANGEMENT IN RESIST DESIGN

被引:0
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作者
ITO, H [1 ]
UEDA, M [1 ]
ENGLAND, WP [1 ]
机构
[1] IBM CORP,DIV RES,ALMADEN RES CTR,SAN JOSE,CA 95120
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
摘要
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页码:14 / PMSE
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