THERMAL-OXIDATION OF BETA-TA BELOW 500-DEGREES-C

被引：12
|
作者：
SATO, S
INOUE, T
SASAKI, H
机构：
来源：
THIN SOLID FILMS | 1981年 / 86卷 / 01期
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(81)90154-1
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
引用
收藏
页码：21 / 30
页数：10
相关论文
共 50 条
12345