KINETICS AND MECHANISM OF AMORPHOUS HYDROGENATED SILICON GROWTH BY HOMOGENEOUS CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引:112
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作者
SCOTT, BA
PLECENIK, RM
SIMONYI, EE
机构
关键词
D O I
10.1063/1.92521
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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