NATURE OF DISORDERED LAYER PRODUCED BY ION-IMPLANTATION

被引：4

作者：

ZELLAMA, K ^{[1
]}

GERMAIN, P ^{[1
]}

SQUELARD, S ^{[1
]}

BOURGOIN, JC ^{[1
]}

PIAGUET, J ^{[1
]}

ROBIC, JY ^{[1
]}

机构：

[1] CEN,LETI MEP,F-38041 GRENOBLE,FRANCE

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0038-1098(78)91248-6

中图分类号：

O469 [凝聚态物理学];

学科分类号：

070205 ;

摘要：

引用

页码：901 / 905

页数：5

共 50 条

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