MONTE-CARLO SIMULATIONS OF AMORPHOUS HYDROGENATED SILICON THIN-FILM GROWTH

被引:38
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作者
GLEASON, KK
WANG, KS
CHEN, MK
REIMER, JA
机构
关键词
D O I
10.1063/1.337882
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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