GROWTH OF IRON-DOPED EPITAXIAL LAYERS FOR GAAS FIELD-EFFECT TRANSISTORS

被引:14
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作者
NAKAI, K [1 ]
KITAHARA, K [1 ]
SHIBATOMI, A [1 ]
OHKAWA, S [1 ]
机构
[1] FUJITSU LABS LTD,KAWASAKI 211,JAPAN
关键词
D O I
10.1149/1.2133125
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
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页码:1635 / 1640
页数:6
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