RADIATION-ENHANCED DIFFUSION OF BORON IN GERMANIUM DURING ION-IMPLANTATION

被引:12
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作者
GUSEVA, MI [1 ]
MANSUROVA, AN [1 ]
机构
[1] KURCHATOV ATOM ENERGY INST, KURCHATOV SQ, MOSCOW, USSR
来源
关键词
D O I
10.1080/00337577308232285
中图分类号
TL [原子能技术]; O571 [原子核物理学];
学科分类号
0827 ; 082701 ;
摘要
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页数:4
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