PRODUCTION OF SILICON-NITRIDE FILMS FROM HEXAMETHYLCYCLOTRISILAZANE IN A HIGH-FREQUENCY GLOW-DISCHARGE

被引：0
|
作者：
VORONKOV, MG
SULIMIN, AD
IACHMENEV, VV
MIRSKOV, RG
KOKIN, VN
CHERNOVA, VG
机构：
来源：
DOKLADY AKADEMII NAUK SSSR | 1981年 / 259卷 / 05期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];
学科分类号：
07 ; 0710 ; 09 ;
摘要：
引用
收藏
页码：1130 / 1132
页数：3
相关论文
共 50 条
12345